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标准气的加氢除氧、除氢法是怎样的呢?下面就由郑州瑞安气体科技有限公司带大家了解一下吧。
此法分三级,级加氢除氧,第二级除氢,第三级除水,获得下列组成的高纯氮:n2***99.999%,o2≤5×10-6,h2≤5×10-6,h2o≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。
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标准气在集成电路、半导体中有什么用途呢?下面就由郑州瑞安气体科技有限公司带大家了解一下吧。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。
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标准气的加氢除氧法是如何的呢?下面就由郑州瑞安气体科技有限公司带大家了解一下吧。
在催化剂作用下,普氮中残余氧和加入的氢发生化学反应生成水,其反应式:2h2+o2=2h2o,再通过后级干燥除去水份,而获得下列主要成份的高纯氮:n2***99.999 %,o2≤5×10-6,h2≤1500×10-6,h2o≤10.7×10-6。制氮成本在0.5元/m3左右。
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