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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。

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操作注意事项：密闭操作。密闭操作，提供---的自然通风条件。烟台压缩气体，操作人员需要经过专门培训，好品质的高纯氮气订购，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

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